dc.contributor.author | Phạm, Thị Thảo Khương | |
dc.date.accessioned | 2023-02-21T02:47:37Z | |
dc.date.available | 2023-02-21T02:47:37Z | |
dc.date.issued | 2023-02 | |
dc.identifier.uri | http://data.ute.udn.vn:8080/jspui/handle/123456789/414 | |
dc.description.abstract | Tóm tắt kết quả nghiên cứu: − Nghiên cứu hình dáng cấu tạo của microcantilever ứng dụng nhiều trong y học − Thiết kế các thanh microcantilever trên máy tính bằng phần mềm L-edit − Nghiên cứu thành công quy trình rút gọn các bước trong sản xuất microcantilever − Thực hiện các bước để sản xuất ra microcantilever − Kiểm tra đánh giá các microcantilever thu được để hoàn thiện chu trình sản xuất. | en_US |
dc.language.iso | vi | en_US |
dc.subject | Nghiên cứu khoa học | en_US |
dc.subject | Khoa Điện - Điện tử | en_US |
dc.title | Nghiên cứu quá trình thiết kế và sản xuất Microcantilever trong vi cơ điện tử (MEMS-Microelectromechanical Systems) | en_US |
dc.type | Working Paper | en_US |